中文
English

扫描电镜长时间连续采集图像时，会出现二次电子信号衰减现象。现象表现为同一观测区域图像亮度逐步变暗，图像信噪比持续下降，细微形貌特征逐渐模糊，反复在同一位置长时间扫描时该现象会快速加剧。不同品牌设备的探测器、收集极电压设置以及真空腔体本底环境参数存在明显差异，在低加速电压观测时，设备之间信号衰减速率区别更加显著。

成因：电子束持续轰击样品表面，诱发表面碳污染沉积，碳层会阻挡二次电子逸出；样品表面吸附的水汽、碳氢化合物在电子束作用下发生分解，持续在扫描区域形成绝缘薄膜；探测器长期工作温度漂移，二次电子收集效率缓慢降低。

改善方案：提升腔体真空度，充分对样品做预除气处理，减少样品表面挥发性杂质；降低长时间观测区域的电子束束流，缩短单点持续扫描时长；定期清洁腔体与探测器，校准探测器收集电压；对比不同设备本底污染水平，优先选择低本底腔体配置的机型。